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最后更新: 2019-11-08 14:30
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     荷兰半导体设备供应商阿斯麦尔(ASML)近日宣布,或将推迟向中国半导体制造商交付极紫外光光刻机(EUV)。该公司发言人表示,此决定是因为出口许可证到期,目前正在向荷兰政府申请新的许可证。

作为极紫外光刻芯片工具(EUV)的全球唯一供应商,延迟发货将对中国芯片制造造成重击。而此次受到影响的中国公司,疑为中芯国际(SMIC)。

日经新闻援引消息人士的话称,ASML成为美国政府的“牺牲品”,“延迟发货”的一大原因来自于美国政府的压力。

对此,ASML在7日回应,指出公司正在申请许可证,但日经新闻所述“延迟出货”仅为其媒体推测,ASML对此事从未评论或确认。

中芯国际也就此事回应称,公司的EUV还处于“纸面工作”阶段,尚未进行相关活动。中芯国际强调,目前,公司的先进工艺研发进展顺利,研发与生产的连接一切正常,客户与设备导入均正常运作。
据路透社6日报道,该公司发言人莫尼克·莫尔斯(Monique Mols)表示,根据瓦圣纳协议,ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可。该出口许可于今年到期,ASML已经于到期前重新进行申请,目前正在等待荷兰政府核准,预计将耗资1亿欧元(约7.7亿元人民币)。

他说:“ASML只是在遵守法律。法律规定,出口装运EUV需要出口许可证。现在我们已经重新申请。” 
他补充道:“但与此同时,考虑到中国是现如今增长最快的芯片市场,ASML也不想让中国及其中国客户对此失望不满。” 
据日经新闻数据,ASML公司92亿美元(约644亿元人民币)的2018年年度销售额中,约有16%来自英特尔和美光等美国公司。另外,ASML制造机器所需的零部件,有五分之一是在美国工厂生产的。

而中国市场对于ASML也变得日渐重要:2018年,该公司19%的销售额来自中国。

该知情人士表示,原计划在2019年底交付给中国公司的EUV光刻机,将预计延迟至2020年年中。

 

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  被延迟发货的中国厂商疑为中芯 
据日经新闻报道,作为中国首家订购EUV的中国芯片制造商,中芯国际被认为是此次受影响的订购商。尽管据路透社报道,ASML尚未就此事做出证实。

目前,业内已达成共识,必须使用EUV光刻机才能使半导体芯片进入7nm,甚至5nm时代。

去年5月,中国最大的芯片制造公司中芯国际向荷兰ASML订购了首台EUV光刻机,价值1.2亿美元,几乎相当于该司2017年全部净利润。光刻机原计划于2019年年初交付。

而在去年12月,临近交货时间,ASML突发大火。根据官网信息,火灾摧毁元件供应商Prodrive工厂的部分库存、生产线,因此,2019年年初供货情况预计将会递
延。
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2019年已经临近尾声,EUV仍未交付至中芯,并再次面临“延迟通知”的风险。而ASML将此归因于出口许可证到期。

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